王泽锋课题组 Light | 空芯光纤气体激光器进展综述
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2026-04-26

在半导体封装技术从“硅基”向“玻璃基”跃迁的浪潮中,TGV(玻璃通孔)技术正成为连接微观世界的核心桥梁。无论是先进封装还是下一代显示技术,对玻璃基板进行高精度、高深宽比的打孔,已成为行业公认的工艺难题。
面对这一挑战,爱鸥光学ISL-DW系列双波长飞秒激光器凭借其独创的智能主动稳定系统与灵活的波长选择,正在为TGV加工提供全新的解决方案。

单脉冲能量稳定性是关键
如果说飞秒激光是TGV打孔的“手术刀”,那么脉冲能量的稳定性就是这把刀的“手感”与“节奏”。想象一下:医生做显微手术时,如果手术刀忽轻忽重,后果不堪设想。同样,在微米级的玻璃上打孔,能量波动会带来一系列致命问题:
因此,脉冲能量稳定性直接决定了TGV加工的精度、一致性与最终良率。

作为国产高端飞秒激光器的代表,爱鸥光学凭借深厚的产学研积累,运用AI重构了激光器的研发与定义。公司成功突破了困扰业界多年的飞秒脉冲实时监测技术,其创始人义理林教授课题组在飞秒脉冲测量方面取得了关键进展。配合深度匹配的闭环反馈系统,爱鸥光学相当于以低成本将一套“高速PD+高速示波器”的功能嵌入激光器内部,从而真正实现了脉冲能量峰峰值稳定性的显著提升。

ISL-DW 系列双波长飞秒激光器是由爱鸥光学自主研发生产的,具备极高稳定性和可靠性的光纤飞秒激光器产品。本产品采用独创的智能主动稳定系统,通过对飞秒脉冲的全域智能识别以及飞秒激光器参数的全局优化控制,提供无与伦比的稳定性和抗干扰能力。整机采用一体化设计,集成1030nm 和515nm 两种输出波长可选,脉冲宽度小于250 fs,单脉冲能量最高可达100μJ,并且具有丰富的脉冲选择和输出控制功能。
产品特点 Features:
智能脉冲识别和实时控制
单脉冲能量最高可达100μJ
脉宽 250fs ~10ps可调满足多种加工需求
支持 Burst/PSO/POD等多种脉冲控制方式
稳定可靠的一体化结构设计
应用领域 Applications:
TGV打孔
碳化硅隐切
新能源电池材料加工
光学波导芯片加工
飞秒光栅刻写
高分子材料加工与处理

